【行业资讯】在精密制造领域，微振动控制是如何成为一项关键技术的？

2025-09-15

很高兴在这里与大家探讨一个在高端制造业和前沿科研中发挥至关重要作用，却又常被大众忽视的领域——微振动控制。它并非一项新兴技术，但随着工艺精度的不断提升，正变得前所未有的关键。
一、 微振动控制：精密领域的“基础性”挑战
微振动（Micro-vibration），通常指频率在1Hz~100Hz之间，振幅在微米(μm)至纳米(nm)级别的环境振动。人体无法感知，但对于半导体加工、精密测量、光学、航空航天、医疗等领域，它是影响设备精度、稳定性和最终良率的核心基础环境因素。
典型案例：在集成电路制造中，EUV光刻机需在曝光过程中保持亚纳米级的稳定度。任何来自地面、设备自身或声波的微振动，都可能导致图形畸变，造成巨额经济损失。
二、 微振动控制的解决方案与技术路径
实现有效控制，本质上是 “隔”与“减” 的结合。
高性能隔振系统：提供主动式（通过实时监测与反向力抵消振动）与被动式（利用阻尼材料衰减振动）两种路线的解决方案，为单台精密设备（如电子显微镜、光刻机）提供纯净的工作基础。
系统级解决方案：超越单台设备，为整个敏感区域（如精密测量实验室、晶圆厂检测区）提供整体的隔振地基设计，从源头解决振动问题。
测量与分析先行：依托公司深厚的技术背景，我们首先通过精密测量设备对客户现场的振动环境进行精准评估与溯源，确保解决方案的针对性有效性。
三、 为何微振动控制能成为我们公司的核心产品？
随着中国精密制造产业的升级，对“卡脖子”技术的突破不仅在于设备本身，更在于支撑其运行的极限环境条件，微振动控制正是这一环境条件的关键一环。
我们将微振动控制作为主推产品，正是为了将我们在精密测量与分析方面的核心能力，转化为直接为客户提升良率、保障研发的硬核产品力，旨在为中国的半导体加工、精密测量、光学、航空航天、医疗等行业提供不可或缺的基础支撑。